Ansys半導体製造プロセスセミナー
プラズマ解析セミナー

微細化の要求が年々進む半導体製造ではプラズマを利用した加工において、より効率や歩留まりの向上を図るため、プラズマ現象を理解し、適切に制御する事が必要とされています。 このセミナーではプラズマ現象をどのような計算方法によってシミュレーションで正確に再現できるのか、シミュレーションの結果によって非常に短い時間で変化するプラズマ現象を把握する方法についてご紹介いたします。